真空获得设备
电子束蒸发控制系统
深冷机组和深冷泵
真空镀膜材料及靶材
四点探针量测仪
真空计和真空规管

 深冷机组和深冷泵 
电子束蒸发控制系统 真空镀膜材料及靶材


l         主要用途:
ICP型深冷设备工作原理为捕集真空系统中的残余气体。将一个制冷盘管放在真空室或是油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体,防止水蒸气污染工件,从而大大缩短抽真空的时间,获得洁净的真空环境。
l         标准规格
1.        -100° 到 -150°C
2.        快速冷却,快速除霜回温 (5分钟内.)
3.        回温温度达到 25°C
4.        喷漆 : 环氧喷漆
5.        操作温度 : - 150 ~  +25 ℃.
6.        高真空抽气时间缩短30% 到 80%
7.        ICP-200型超低温捕集泵重量 : 600 Kg
8.        功率: 7.5千瓦, (电压, 赫兹 :按照用户的需要设定)
9.        充入气体 : 为得到超低温需充入特殊的混合气体(polycold现有气体可用)
10.      重载循环工作, 24 小时, 365 天工作
设备特点:
1)设备出厂前已充有超低温混合气体(和原polycold公司生产的气体兼容)
1) 高安全装置(电机NFB ,超载,超压,过热保护器,报警器)
2) 能为企业提供在生产过程所需要的稳定的最低温度
3) 温度指示为模拟输出,可任意选择手动或是自动控制方式
4)  特殊的电路装置可以防止电磁阀结冰
5) 本设备连接远程控制连接器,可用PLC或手动方式远程控制
6) 数字控制&通讯功能(任选)
7) 制冷盘管可安装在真空室里,扩散泵或者分子泵前。
8) 配备和polycold 零配件完全兼容的零件(包括制冷气体)。
9) 采用国际标准配件及相应的售后服务程序,使设备能得到及时的维护及维修。
大量的事实证明,Ion-Tek生产的超低温捕集泵可以高效运行20年,在韩国市场的占有率较大,且远销美国和欧洲
  
型号
压缩功率
(KW)
与Polycold
对应的型号
抽气速度
(升/秒)
制冷管
(直径: 英寸,
长度: 米)
尺寸
(mm)
(长*宽*高)
冷却水
(升/分)
冷却&除霜
时间
ICP -
060
3.5
PFC- 650
65,000
1/2”  10 M
800*
600*1500
   60
 5 分.
ICP -
130
7.5
PFC-1000
130,000
5/8”  25 M
900*
700*1700
   90
 5 分.
ICP -
200
7.5
PFC-1100HC
200,000
5/8”  40 M
1000*
800*1800
  110
 5 分.

 



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