| （1）测量范围： |
可测量 电阻率：0.01～199.9Ω•cm。
可测方块电阻：0.1～1999Ω/口
当被测材料电阻率≥200Ω•cm数字表显示0.00。 |
| （2）恒流源： |
输出电流：DC 0.1mA～10mA分两档
10mA量程：0.1～1mA 连续可调
10mA量程：1mA ～10mA连续可调
恒流精度：各档均优于±0.1%
适合测量各种厚度的硅片 |
| （3） 直流数字电压表 |
测量范围：0～199.9mv
灵敏度：100μv
准确度：0.2%（±2个字） |
| （4） 供电电源： |
AC：220V ±10% 50/60HZ 功率8W |
| （5） 使用环境： |
相对湿度≤80% |
| （6） 重量、体积 |
重量：2.2 公斤
体积：宽210×高100×深240（mm） |
| (7)KD探针头 |
压痕直径：30/50μm
间距：1.00mm
探针合力：8±1N
针材：TC |
