适合玻璃表面镀制透明导电膜,镀膜产品适用于液晶显示器、PDP显示器、OLED显示屏等;
本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术,孪生阴极,中频溅射技术,并配以国际先进的控制系统,镀制S0 2/I T0膜层,生产过程全部自动,连续进行。
主要组成部分:
真空室:不锈钢制造,立式,外壁通冷却水,内衬不锈钢挡板。
真空系统:可选扩散泵系统,蜗轮分子泵系统。
蒸发源:直流磁控溅靶和,中频磁控溅射靶,分别固定在真空室两例。
工件烘烤:采用不锈钢管状加热器配合均热板,确保基片加热均匀性。
充气系统:气体质量流量计和压强自动控制仪。
电气控制系统:触膜屏与P L C自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示;操作
与控制。
水冷系统:真空室冷却和阴极冷却,有水压保护开关和水流开关。
主要技术参数:
极限真空压力:7×1 0^-4 Pa
平均生产周期:1 0 0秒/架
基片导尺寸:7 5 0×1 2 0 0(mm)
总功率:3 5 0 kw
直流磁控靶功率:20kw
中频磁控靶功率:20kw