本公司生产的墙幕玻璃磁控溅射镀膜机,采用平面磁控溅射靶,可以在大平板浮法玻璃上镀制金属单质膜、复合膜、L E辐射膜,也可在小弯的弧形玻璃上镀膜。 o最大可镀玻璃尺寸:2440×330 0(毫米) o多真空室,多溅射室结构,可供用户选择,真空室之间有真空锁隔离。 o卧式磁控生产线有单端、双端形式,玻璃从清洗、镀膜、检测等一次完成。 o生产线采用PLC全过程控制,并配有彩色显示屏,显示镀膜工艺过程参数。
墙幕玻璃磁控溅射镀膜设备主要技术参数
型号
GPMS-2000
GPMS-2500
GPMS-3300
可镀玻璃最大尺寸
1500X2000
1880X2440
2440X3300
生产节拍(分钟/片)
3
极限压力(Pa)
2X10-3
靶数量(个)
33
溅射功率(KW)
80X3
100X3
装机功率(KW)
300
380
420
200
260
280
真空室数量(个)
9
4
其中溅射室数量(个)
控制方式
PCL
备注
水平式双端
水平式单端