真空获得设备
电子束蒸发控制系统
深冷机组和深冷泵
真空镀膜材料及靶材
四点探针量测仪
真空计和真空规管

 电子束蒸发控制系统 
真空获得设备 深冷机组和深冷泵

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控制电源柜



该控制电源采用了优质集成电路、智能模块作主体线路,具有功能强、故障率低、便于维护等优点。带有独立的x、y方向扫描频率及幅度调节、偏转电流上下限联锁灯丝电路控制、面控和遥控转换等功能。

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ZH-DE系列电子枪
该系列电子枪设置了三个圆穴形小坩埚和一个弧形槽大坩埚,三个圆穴小坩埚自动定位,弧形槽大坩埚凤五个区位自动往复慢速运转,具有装添膜料品种多、数量大,蒸发分布稳定等特点,特别适合一次镀多层膜的工艺使用。

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光学膜厚测控系统




ZH-MK系列光学膜厚测控系统采用了1000Hz调制光源信号,经光路透镜、监控片、光纤进入单色仪,由光电倍增管转换成电信号送入膜厚测控仪放大显示,为控制膜厚操作提供了比较稳定的监测信号。膜厚测控仪采用优质集成电路及电子元器件组成,指针仪表和数字仪表双重显示,具有灵敏度高、量程范围广、使用方便等优点。



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