GPA系列多弧离子镀膜机主要技术指标
GPA-600
GPA-700
GPA-800
GPA-1000
GPA-1250
工作室尺寸
Φ600X800
Φ700x700
Φ800X1000
Φ1000X1500
Φ1250X1600
最大工件回转直径
Φ120X450X6轴
Φ120X550X6轴
Φ170X750X6轴
Φ200X1200X6轴
Φ270X13500X6轴
工件架转速(转/分钟)
1-3
烘烤温度(ºC)
室温到350ºC可调
加热功率(KW)
4
6
12
20
24
配置电弧源(个)
D100/4个
D100/6个
D100/8个
D100/12个
配置磁控溅射靶
750/5KW
100/10KW
115/40KW
极限压力(Pa)
3X10-3
恢复真空抽气时间(空载从大气至5-10-3Pa)
≤10
≤15
真空机组配置
KT-400 2X-70 2X-4
KT-500 2X-70 2X-8
KT-600 2X-70 2X-15
KT-800 ZJ-600 2X-70 2X-15
名义总功率(KW)
64
63
94
125
145